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电科装备8至12寸系列减薄机发货突破百台

2023-09-09 03:15:33 来源:科技日报


(资料图片)

科技日报记者 付毅飞

记者9月8日从中电科电子装备集团获悉,该集团旗下北京中电科公司研发的8至12寸系列减薄机,近日发货突破100台,部分机型市场份额跃居国内首位,为国家相关产业链供应链的安全提供了坚强支撑。

据介绍,减薄设备是集成电路制造不可或缺的关键装备,同时该设备还可应用于化合物半导体、特种陶瓷等其他领域。

北京中电科公司坚持减薄与工艺技术自立自强,成功解决了系列关键技术,相继推出了多款8至12寸系列减薄设备。最新研制的碳化硅全自动减薄设备,重要技术指标和性能对标国际先进水平。目前,8至12寸系列减薄设备形成了多领域产品谱系。

北京中电科公司研发的碳化硅全自动减薄设备(中电科电子装备集团供图)

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